学术交流

　　1月7日，应苏州纳米所纳米真空互联实验站邀请，德国德累斯顿技术大学廖忠全博士来所进行学术访问交流，并作题为“In-situ TEM studies on nanomaterials for electronics applications”的学术报告，报告由冯加贵研究员主持，纳米所所长杨辉和相关领域老师及同学参加了此次交流会。 

　　原位透射电子显微镜学（In-situ TEM）是一种使用透射电子显微镜实时监测样品的技术，它可以直观的提供在某些刺激下材料的动力学信息。电子显微镜设备的快速发展使原位透射电镜技术在材料科学、化学、生物等各个领域得到了广泛的关注和应用。廖忠全博士主要从事用原位透射电子显微镜技术对微电子应用相关材料的研究。报告中，他首先介绍了采用原位电测试方法研究芯片后端(BEoL)可靠性的介电击穿(TDDB)失效机理和降解动力学。随后向大家展示利用原位机械测试系统拉伸石墨烯纳米带（GNR）并利用电子能量损失谱同时测量其对应能带，以此来验证利用应变来调节石墨烯能带结构，并用于石墨烯晶体管的可能性。接着他又介绍了在高温下进行的3D芯片中靠近硅通孔（TSV）的硅材料的原位应变/应力测量，这为应变如何影响晶体管的性能提供了实验基础。廖忠全博士报告中提到的所有实验均是在TEM内完成的，这为从根本上了解材料在某些刺激下的反应提供了独特的视角和实验基础，并且这些实验对如何改进生产工艺，提高器件性能提供了非常重要的参考。最后，廖忠全博士和参会的老师、同学们进行了深入地讨论与交流。 

　　廖忠全，Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems IKTS。2012.10 – 2017.03德累斯顿技术大学（德国德累斯顿）攻读博士学位，期间在Materials Science and Nanotechnology期刊发表文章“In-SituTransmission Electron Microscopy Studies onAdvanced Materials forMicroand Nano-Electronics”。 2009.09 – 2012.06中南大学（长沙，中国）攻读硕士学位。2005 .09- 2009.06中南大学（中国长沙）攻读材料科学与工程学士。